全球半导体芯片的咽喉

   　近日，芯片又一次成为了全民关注的热点话题。在5G已经逐步商用化、AI大量应用的今天，芯片对于一个科技企业来说的重要性已经不言而喻。腾讯科技近日发起系列策划，聚焦各个芯片大国的发展历程。　一提起荷兰，大家首先想到的是巨大的风车，以及色彩华美的郁金香。很少有人会留意到，在雨水充沛、人口不到30万的荷兰南部城市费尔德霍芬（Veldhoven），坐落着一家叫阿斯麦（ASML）的公司，它是全球最大的光刻机制造商。

 阿斯麦的地位有多重要？可以这么说，如果它停产，全球半导体芯片生产将会停摆。

　　阿斯麦的行业地位，还可以通过近期一则新闻略窥一斑。5月初，美国圣克拉拉市高等法院作出最终判决，阿斯麦起诉XTAL公司窃取商业机密胜诉，阿斯麦获赔8.45亿美元，并获得XTAL的大部分专利和客户。

　　这桩官司发生的背后，和阿斯麦的一位客户想借XTAL打破阿斯麦的市场垄断地位有关。

　　这方面，或许市场数据更有说服力。

　　2017年全球光刻机总出货294台，阿斯麦出货198台，占据市场份额68%，在更高端的EUV（极紫外）光刻机方面，市场100%属于阿斯麦。正因为如此，才有客户担心自己被阿斯麦卡脖子，于是绞尽脑汁培养阿斯麦的竞争对手XTAL。

　　合抱之木，生于毫末。阿斯麦刚成立时，可谓爹不疼娘不爱，靠着苦心钻营出一套打法，最终从尼康等老牌光刻机大户嘴里抢到饭吃，从青铜走上王者之巅。

　　“出生于”尼康为王的时代

　　阿斯麦成立于1984年。

　　1984年正是尼康来回碾压美国对手的时代：

　　在硅谷成立尼康精机，等于把战斗指挥部放到美国高科技行业的心脏；

　　PerkinElmer（铂金埃尔默）受尼康冲击，份额从超过30%跌到不足5%，今天它已经完全放弃半导体设备业务，专注于健康检测设备；

　　GCA的大客户IBM、AMD、TI和Intel等，排着队跑到尼康那儿；

　　尼康和GCA各享30%的市场份额，这种一山二虎的局面没有维持多久，尼康就独自为王，占领超过50%的份额，一直到阿斯麦崛起为止；

　　在大户尼康肆意放飞自我的时候，阿斯麦出生了。早在几年前，飞利浦实验室研发出自动化步进式光刻机(Stepper)的原型，但对它的商业价值心里直敲小鼓，找P&E、GCA、Cobilt、IBM这些半导体界的大佬谈合作，没人愿意搭理。这时，荷兰一家叫ASM International的小公司主动要求合作。飞利浦犹豫了一年，勉强同意成立股权对半的合资公司，这就是阿斯麦。

　　飞利浦之所以愿意放低身价和一家名不见经传的小公司合作，原因有两个：

　　一方面是飞利浦当时正和索尼主推更赚钱的CD，1984年CD的销量达到1300万张，是上一年的两倍多，正渐渐散发出印钞机的气质，比小众的光刻机更有投资价值；

　　另一方面，尼康在光刻机市场攻城掠地，老牌半导体设备厂商节节败退，雪上加霜的是，飞利浦当时正打算开始大规模裁员，糟糕的经济状况和恶劣的光刻机市场环境，使它不敢大手笔押注光刻机，因此与ASM International合作，不过是想占个坑观望而已。

　　阿斯麦成立后，地位类似童养媳，飞利浦没有拨付经费，甚至不提供办公室，31个员工就在飞利浦大厦外的简易木棚房办公。多年以后，阿斯麦的CEO彼得.韦尼克（Peter Wennink）回忆公司初创时的境况，还忍不住说“穷困”。一句话：既没钱，又受对手压制。

　在2000年之前的整个16年时间里，光刻机市场差不多都是尼康的后花园，阿斯麦占据的份额不超过10%。

　　直到一个叫林本坚的华人出现。

　　台积电林本坚宣判“干式”微影技术死刑

　　1959年，成立半年的仙童半导体公司赫尔尼发明了制造扩散型晶体管的“平面处理工艺”，使晶体管制造像印刷书籍一样高效。这一工艺的流程之一，是把带有电路图的透光片正确投射到硅片上。“平面处理工艺”诞生之后成为集成电路的标准工艺，一直沿用至今，其最初采用的“干式”（以空气为介质）微影技术也沿用到上世纪90年代（镜头、光源等一直在改进），然后遇到瓶颈：始终无法将光刻光源的193nm波长缩短到157nm。

　　当时，为缩短光波长度，大量科学家和几乎整个半导体业界都被卷进来，砸进数以十亿计的美金，以及大量人力，提出了多种方案。